“责任,我来担。”赵磊打断他,“老秦,我们现在不是在谈生意,是在谈‘共存亡’。H公司的制裁,卡的是整个民族的脖子。光刻机是心脏,我们是身体。心脏跳不动,身体再强也没用。现在心脏有了,虽然还弱,但我们不能因为它弱,就把它冷藏起来。我们要让它跳,哪怕跳得不稳,也要让它跳!跳着跳着,它就有劲了!”
这番话,说得老秦热血沸腾。他想起陈凡之前托人带的话:“中国芯,不是造出来的,是熬出来的。”今天,赵磊用“以用促研”这四个字,把“熬”字的具体路径,指了出来。
“好!”老秦一拍大腿,“赵总,冲你这句话,我老秦豁出去了!机器,我明天就安排人拆,给你们送过去!调试团队,我亲自带!不把良品率提到50%以上,我老秦不回上海!”
一个月后,凯里厂试验线。
SMEE的28nm光刻机,被安置在最洁净的一个车间里。它没有在宽敞明亮的上海实验室,而是在这个大山深处的老厂房里,开始了它真正的“职业生涯”。
调试的过程,远比想象中艰难。机器震动、温度漂移、软件bug……各种各样的问题层出不穷。赵磊几乎住在车间里,和老秦的团队、刘工的团队,一起盯着每一片晶圆的测试结果。
每当出现良品,哪怕只有一片,大家就像过年一样兴奋。每当出现废片,大家就围着机器,从光学路径到化学反应,从机械结构到控制算法,一点点排查,一点点修正。
赵磊提出了“数据众筹”的思路。他将凯里厂流片过程中遇到的每一个问题、每一次调整、每一组参数,都匿名化后,上传到“华夏EDA”开源社区。很快,国内各大高校、研究所、甚至其他芯片设计公
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“哪都出。”老秦苦笑,“光源功率波动、工件台定位误差、镜头热畸变……每一个环节都有微小偏差,累积起来,就导致成像模糊,良品率上不去。我们的工程师,眼睛都熬红了,就是找不到症结。”
赵磊站起身,看着窗外灰蒙蒙的天空,沉声道:“老秦,良品率不是‘测’出来的,是‘用’出来的。你们把机器锁在实验室里,跑几片晶圆,发现良率低,就回来改设计,这叫‘闭门造车’。H公司当年,也是经历了成千上万次试错,才把良品率提上去的。”
他转过身,目光灼灼地看着老秦:“我有个提议。深微半导体,愿意做这台光刻机的‘小白鼠’。你把机器,搬到我们凯里厂的试验线去。我们不计成本,用它来流片我们的‘长城三号’芯片——就是那个基于28nm制程的通用工业MCU。哪怕良率只有1%,我们也照单全收。我们要用‘量产’的压力,来倒逼设备的改进。发现问题,当场解决;出现偏差,立刻调整。这叫‘以用促研’!”
老秦愣住了。把价值上亿的光刻机搬走?还要不计成本地“试错”?这简直是天方夜谭!但他看着赵磊坚定的眼神,知道这不是玩笑。
“赵总,这……这风险太大了!万一机器在我们那儿出了问题,或者始终提不上去良率,这责任……”
第一百四十三章 土法炼钢,以用促研 (第2/3页)
备公司(SMEE)的厂房里,一台崭新的28nm光刻机,正在进行最后的调试。这是国产光刻机的一个里程碑,虽然比国际最先进的7nm、5nm落后几代,但它是中国完全自主设计的产物。
“赵总,您看,这就是咱们的‘争气机’!”SMEE的总经理老秦,指着那台庞大的机器,脸上既有自豪,也有难掩的焦虑,“光学系统、双工件台、控制系统,全是咱们自己搞的。但……良品率太不稳定了。跑一整天,能出两三片合格的,就算烧高香了。这成本,谁用得起啊?”
赵磊围着光刻机转了好几圈,没有去看那些复杂的仪表,而是蹲下来,用手摸了摸机器底座的减震垫,又看了看排风口的粉尘过滤棉。
“老秦,问题出在哪?”赵磊问。
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