在显微镜前连续坐了七十二个小时。

左眼的视网膜就是那时候脱落的。

最后也没解决。

林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。

图纸上画着一套改造方案。

“光学系统是王老定的方案。”

“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”

“它就差一双眼睛。”

“现在，我把眼睛给它装上。”

林希用笔尖点着图纸，

“配合闭环伺服控制。”

“丝杠的累积误差，在每个采样周期内实时补偿。”

他看向陈默。

“你的机器什么都好。”

林希停在XY工作台前。

用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。

“是因为这个。”

陈默一愣。

“套刻对准。”

XY工作台两侧，各加装一条光栅尺。

光栅尺的信号接入一块数字控制板。

控制板驱动两台微型伺服电机。

替换原有的手摇蜗轮。

“红星和长光所联合自研自产的光栅尺，分辨率1微米。”

“废片率超过六成。”

陈默的身体晃了一下。

他当然知道。

这个问题困扰了整个109会战团队两年。

他师傅为了解决这个死区。

林希蹲下去。

指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，

“纯机械传动，没有位置反馈。”

“丝杠转一圈，理论行程是0.5毫米。”

“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”

他绕着GK-3走了一圈。

军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。

汞灯光源的接口擦得锃亮，连螺纹里都没有积灰。

“陈师傅。”

“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”

“每转一圈的真实位移都不一样。”

他站起来，拍了拍手上的灰。

“套刻精度要求正负5微米。”

“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”

“所以第二层图形永远对不准第一层。”

第308章 给光刻机装“眼睛” (第3/3页)

……这台机器，还能用？”

“不是还能用。”

林希收回手指，把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，

“是它从来就没坏过。”

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